Dr. Norbert Böwering

Selbstständig, Senior Technical Consultant, BökoTech

Bielefeld, Deutschland

Fähigkeiten und Kenntnisse

Erfahrung mit EUV Optiken
Halbleitertechnologie
Lithografie
EUV Metrologie und Spektroskopie
Projektmanagement
EUV Multilayer Beschichtungen
Nanotechnologie
Nanostrukturierung
CO2 und Excimer Laser
Laserphysik
Messtechnik
Oberflächenphysik
Plasmaphysik
Spektroskopie
Düsenstrahlexpansionen
Nutzung von Synchrotronstrahlung
Photonik
Optoelektronik
Elektronenstreuung

Werdegang

Berufserfahrung von Norbert Böwering

  • Bis heute 7 Jahre und 2 Monate, seit Mai 2017

    Senior Technical Consultant

    BökoTech

  • 4 Monate, Feb. 2017 - Mai 2017

    Technischer Experte

    FERCHAU Engineering GmbH
  • 1 Jahr und 2 Monate, Jan. 2016 - Feb. 2017

    Senior Technical Consultant

    BökoTech, Bielefeld

    Development and consultation for semiconductor industry: Supporting novel solutions for optics contamination and target delivery systems in devices used in extreme ultraviolet lithography scanners. Entwicklung und technische Beratung für die Halbleiterindustrie.

  • 9 Monate, Apr. 2015 - Dez. 2015

    Senior Design Engineer

    ASML Netherlands B.V.

    Development and Engineering: Produktentwicklung von Kollektorspiegeln für EUV Lichtquellen zur Halbleiterlithografie

  • 6 Jahre und 11 Monate, Mai 2008 - März 2015

    Principal Research Scientist

    Cymer B.V., NL

    Entwicklung von laser-induzierten EUV Lichtquellen und ihre Integration in EUV Scanner zur Anwendung bei Halbleiterherstellern, Produktentwicklung von EUV Kollektorspiegeln.

  • 5 Jahre und 4 Monate, Jan. 2003 - Apr. 2008

    Senior Research Scientist

    Cymer Inc., USA

    R&D: Entwicklung von laserbasierten Hochleistungs-EUV Lichtquellen für die Halbleiter-Lithografie

  • 1 Jahr und 8 Monate, Mai 2001 - Dez. 2002

    Research Scientist

    Cymer Inc., USA

    R&D: Forschung zur Entwicklung von Gasentladungs-EUV Lichtquellen für die Halbleiterlithografie

  • 1 Jahr, Mai 2000 - Apr. 2001

    Projektleiter EUV

    Tuilaser AG

    R&D: Entwicklung einer entladungsbasierten EUV Plasmalichtquelle

  • 10 Monate, Juli 1999 - Apr. 2000

    Wissenschaftler

    Max-Born Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie

    Laserspektroskopie, Synchrotronstrahlungsnutzung, Photoelektronenspektroskopie

  • 1 Jahr und 2 Monate, Mai 1998 - Juni 1999

    Wissenschaftler und Privatdozent

    Universität Bielefeld

    Elektronenstreuung and orientierten Molekülen, Nanostrukturierung, Excimerlaserentwicklung

  • 6 Jahre und 5 Monate, Dez. 1991 - Apr. 1998

    Oberassistent, Hochschuldozent

    Universität Bielefeld

    Universitäre Forschung und Lehre: Elektronenstreuung an orientierten Molekülen, spinaufgelöste Photoelektronenspektroskopie mit VUV Lasern und Synchrotronstrahlung, Katalytische Reaktionen orientierter Moleküle auf Oberflächen, Multilayer Beschichtungen

  • 5 Monate, Aug. 1997 - Dez. 1997

    Visiting Professor

    University of Texas at Austin

    Research Scientist and Lecturer, Department of Physics

  • 5 Jahre und 1 Monat, Dez. 1986 - Dez. 1991

    Hochschulassistent

    Universität Bielefeld

    Universitäre Forschung und Lehre: Spinaufgelöste Photoelektronenspektroskopie an freien Atomen und Molekülen mit Synchrotronstrahlung und VUV Lasern, Entwicklung einer Laser-induzierten EUV Plasmalichtquelle, Adsorption von orientierten Molekülen an Oberflächen

  • 1 Jahr und 7 Monate, Juni 1985 - Dez. 1986

    Wissenschaftlicher Mitarbeiter, Postdoktorand

    Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft

    Forschung: Atom- und molekülphysikalische Experimente mit Synchrotronstrahlung und VUV Lasern, Spinaufgelöste Photoelektronenspektroskopie, Laser-induzierte EUV Plasmalichtquelle

  • 5 Monate, Jan. 1985 - Mai 1985

    Postdoctoral Research Associate

    University of Texas at Austin

    Laser spectroscopy, molecular reaction kinetics

  • 3 Jahre und 5 Monate, Aug. 1981 - Dez. 1984

    Graduate Research Assistant

    University of Texas at Austin

    Two-photon laser spectroscopy of xenon

  • 4 Monate, Apr. 1981 - Juli 1981

    Wissenschaftlicher Mitarbeiter

    Universität Würzburg

    Kinetische Studien der Reaktionsdynamik von elektronenstrahlgepumpten Ar2F Excimermolekülen

Ausbildung von Norbert Böwering

  • 5 Jahre, Dez. 1986 - Nov. 1991

    Experimentalphysik

    Universität Bielefeld

    Lehrbefugnis für Experimentalphysik, Privatdozent

  • 3 Jahre und 5 Monate, Aug. 1981 - Dez. 1984

    Physik

    University of Texas at Austin

    Two-photon laser spectroscopy of xenon

  • 1 Jahr und 11 Monate, Juli 1979 - Mai 1981

    Physik

    Bayerische Julius-Maximilians-Universität Würzburg

    Fluoreszenz elektronenstrahlgepumpter Excimere, Excimerlaserkinetik

  • 11 Monate, Aug. 1978 - Juni 1979

    Physik

    State University of New York at Albany

    Depth analysis by Rutherford backscattering and nuclear reaction analysis, accelerator physics

  • 2 Jahre und 10 Monate, Okt. 1975 - Juli 1978

    Physik

    Bayerische Julius-Maximilians-Universität Würzburg

    Studium der Physik

Sprachen

  • Deutsch

    Muttersprache

  • Englisch

    Fließend

  • Französisch

    Gut

  • Spanisch

    Grundlagen

  • Niederländisch

    Grundlagen

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