Thomas Henke

• Verantwortung für Sputterprozesse zur Beschichtung von Folien • Dokumentation der Produktionsprozesse • Durchführung von Fehler- und Problemdiagnosen sowie Einleiten geeigneter Korrekturmaßnahmen • Stetige Verbesserung der Produktionsprozesse hinsichtlich Produktqualität, Ausbeute u. Produktivität • Mitarbeit bei der Entwicklung und Überführung neuer Produkte, Prozesse oder Technologien von F&E in die Fertigung • Planung, Durchführung, Auswertung u. Dokumentation von Projekten zur Prozessverbesserung

• Optimierung und Weiterentwicklung von Sputterprozessen und -anlagen zur Herstellung von CIGS-Dünnschichtsolarmodulen • Ursachenanalyse von Prozess- und Anlagenproblemen und Maßnahmenableitung zur Problembehebung • Technische und technologische Inbetriebnahme von Sputter-Beschichtunganlagen in China • Transfer und Optimierung der Beschichtungsprozesse • Erstellen von Arbeitsanweisungen und Schulung von Mitarbeitern • kommissarische Leitung des Teams "Thin Film Development" (seit Mai 2019)

- Entwicklung vakuumbasierter Beschichtungsprozesse, - thermische Behandlung dünner Schichten (Tempern), - Charakterisierung dünner Schichten, - Präsentation der Ergebnisse auf internationalen Konferenzen und wissenschaftliche Zeitschriften, - Betreuung studentischer Abschlussarbeiten und Seminare

Promotionsthema: "Untersuchungen zum Einsatz des ms-Blitzlampentemperns bei der Atomlagenabscheidung von dünnen Schichten und für die Rekristallisation von amorphem Silizium" ALD, FLA, Silizium

Mikroelektronik, Halbleitertechnologie