Tobias Heyne

Angestellt, Prozessingenieur Defektdichte, Robert Bosch Semiconductor Manufacturing Dresden GmbH

Dresden, Deutschland

Fähigkeiten und Kenntnisse

Halbleiter-Technologie und -Fertigung
Automatisierte Defektinspektion
Defektdichte-Optimierung
Fachliche Führung (TeamLead)
Prozessoptimierung
Problemlösungsmethoden (z.B. 8D)
Fehleranalyse
Lean Six Sigma (Greenbelt)
Statistische Prozesskontrolle
Technologie-Entwicklung (28nm... 22/12nm FDSOI)
CMOS-Technologie (90...12nm)
Mixed-Signal-Technologie (180...110nm)
Leistungshalbleiter-Technologie
Rezepterstellung für Defektinspektionsanlagen
CamLine SPACE (SPC-Software)
CamLine ECAP (elektronischer OCAP)
Arbeitsplatzanweisungen und OCAPs

Werdegang

Berufserfahrung von Tobias Heyne

  • Bis heute 5 Jahre und 5 Monate, seit Feb. 2019

    Prozessingenieur Defektdichte

    Robert Bosch Semiconductor Manufacturing Dresden GmbH

    - Unterstützung des Technologie-Transfers von Mixed-Signal ASIC und Leistungshalbleiter-Prozessen mit Schwerpunkt in Defektdichte-Themen - Mit-Entwicklung einer Defektinspektions-Strategie einschl. Spezifikation und Auswahl von Anlagen, Software und Geschäftsprozessen - Erstellen von Arbeitsplatzanweisungen und OCAPs - Erstellen, Überarbeiten und Dokumentieren von Anlagenrezepten für Defektinspektions-Anlagen - Dokumentation, Analyse und Reporting von Defektdaten zur Prozesskontrolle und -optimierung

  • 2 Jahre und 8 Monate, Juni 2016 - Jan. 2019

    Senior Process Engineer, Manufacturing Inline Control

    GLOBALFOUNDRIES

    - Kontinuierliche Verbesserung der Defektdichte in der Fertigung durch statistische Analysen und Experimente in enger Zusammenarbeit mit den Prozessintegrations- und Yield-Engineering-Teams - Unterstützung der Prozessentwicklung in den 22FDX-und 12FDX-Technologien mit Schwerpunkt in der Verbesserung der Defektdichte - Optimierung von Kontrollstrategien für neue Produkte und Technologie-Varianten - Schulung von Mitarbeitern hinsichtlich Fertigungsprozessen, Defektmechanismen und Analysemethoden

  • 1 Jahr und 5 Monate, Jan. 2015 - Mai 2016

    Manufacturing Engineer, Contamination Free Manufacturing

    GLOBALFOUNDRIES

    - Fachliche Führung (Team lead) eines kleinen Teams aus Prozesstechnikern und Schichtingenieuren - Bewertung und Dokumentation von Defekt-bezogenen Qualitätsabweichungen sowie Ursachenfindung und -behebung in Zusammenarbeit mit den Fertigungsabteilungen und Prozessingenieuren - Kontiniuerliche Weiterentwicklung der Kontrollmechanismen - Schulung von Mitarbeitern hinsichtlich Fertigungsprozessen, Defektmechanismen und Analysemethoden

  • 4 Jahre und 4 Monate, Sep. 2010 - Dez. 2014

    Waferfab Technician, Contamination Free Manufacturing

    GLOBALFOUNDRIES

    - Beurteilung und Klassifikation von detektierten Defekten - Durchführung weiterer Schritte wie zusätzlichen Inspektionen, manuellen SEM-Aufnahmen und EDX-Analysen im Falle von detektieren Defektabweichungen - Bewertung und Dokumentation von Qualitätsabweichungen (Defektdichte) sowie Ursachenfindung und -behebung im Zusammenspiel mit den Fertigungsabteilungen und Prozessingenieuren - Kontiniuerliche Weiterentwicklung der Kontrollmechanismen

  • 7 Monate, Feb. 2010 - Aug. 2010

    Waferfab Technician, Diffusion (Furnace und RTA)

    GLOBALFOUNDRIES

    - Vorbereitung und Durchführung von Anlagenqualifikationen - Planung und Steuerung der Losfertigung (semi-automatische Produktion) - Ausführung von Sonderbearbeitungen, etwa Prozess-Experimente

Ausbildung von Tobias Heyne

  • 2 Jahre und 7 Monate, Juni 2012 - Dez. 2014

    Mechatronik

    Wilhelm Büchner Hochschule Darmstadt

    Fachrichtung Mechatronik, Spezialisierung Robotik und Automatisierungstechnik Thesis: Entwicklung einer Monitoring-Strategie auf Basis einer Signaturerkennung zur Reduktion physikalischer Defekte in der Produktion von Halbleiter-Bauelementen

Sprachen

  • Deutsch

    Muttersprache

  • Englisch

    Fließend

  • Französisch

    Grundlagen

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